9月10日,国度电力投资集团有限公司发文称,近日国度电投所属国电投核力创芯(无锡)科技有限公司(以下简称“核力创芯”)暨国度原子能机构核本事(功率芯片质子发射)研发中心,完成首批氢离子注入性能优化芯片产物客户请托。这标记着我国已全面掌持功率半导体高能氢离子注入中枢本事和工艺,补全了我国半导体产业链中缺失的迫切一环,为半导体离子注入开荒和工艺的全面国产替代奠定了基础。
工程师进行晶圆离子注入出产国度电力投资集团有限公司公众号
著述称,氢离子注入是半导体晶圆制造中仅次于光刻的迫切花式,在集成电路、功率半导体、第三代半导体等多种类型半导体产物制造经由中起着关节作用,该范畴中枢本事及装备工艺的缺失严重制约了我国半导体产业的高端化发展,高出是600V以上高压功率芯片弥远依赖入口。核力创芯的本事突破,谮媚了海外把持。
国度电投默示,核力创芯在遭逢番邦关节本事及装备阻滞的不利要求下,宝石独力新生,自主改革,打造新质出产力,在不到三年的时辰里,突破多项关节本事壁垒,赶走了100%自主本事和100%装备国产化,建成了我国首个核本事期骗和半导体范畴交叉学科研发平台。首批请托的芯片产物资历了累计近万小时的工艺及可靠性测检会证,主要本事方针达到国际先进水平,得回用户高度评价。
企查查清楚,核力创芯配置于2021年,注册地位于江苏省无锡市,是国度电投集团核本事期骗产业重心面目——功率芯片质子发射面目的承建单元,注册成本7022.63万元。